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更新時(shí)間：2023-05-08 
瀏覽次數(shù)：371低脈動(dòng)
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將波紋管的運(yùn)動(dòng)控制到消除泵脈動(dòng)的最佳相位。實(shí)現(xiàn)極低脈動(dòng)運(yùn)行。（ PAT。）
適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性
通過進(jìn)行相位控制，提高了負(fù)載變動(dòng)時(shí)的跟蹤性能。特別是在單晶圓工藝等壓力波動(dòng)頻繁的生產(chǎn)線中，其高負(fù)載跟隨性可實(shí)現(xiàn)吐出量和吐出壓力的穩(wěn)定運(yùn)行。
無需阻尼器，節(jié)省空間
由于不需要安裝阻尼器，因此可以節(jié)省設(shè)備空間。配管作業(yè)簡單，可減少氟樹脂接頭等昂貴的配管材料，有助于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型輕量化。
安全設(shè)計(jì)
波紋管焊接結(jié)構(gòu)，防止漏液，即使波紋管破損，采用漏液傳感器檢測漏液情況
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