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sanko-denshi膜厚計(jì)SWT-NEO 的介紹

更新時(shí)間:2025-03-19      瀏覽次數(shù):116
Sanko-Denshi(三光電機(jī))是一家知的名的日本公司,專注于生產(chǎn)各種精密測量儀器,其中包括膜厚計(jì)。Sanko-Denshi的膜厚計(jì)SWT-NEO是一款用于測量薄膜厚度的高精度儀器,廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。以下是關(guān)于Sanko-Denshi膜厚計(jì)SWT-NEO的詳細(xì)介紹:

一、產(chǎn)品概述

  • 品牌:Sanko-Denshi(三光電機(jī))
  • 型號(hào):SWT-NEO
  • 類型:光學(xué)膜厚測量儀
  • 用途:用于測量各種薄膜的厚度,包括透明薄膜、金屬薄膜、半導(dǎo)體薄膜等。

二、工作原理

  • 光學(xué)干涉法:SWT-NEO采用光學(xué)干涉原理進(jìn)行膜厚測量。通過發(fā)射一束激光到薄膜表面,反射光和透射光之間會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象。通過分析干涉條紋的變化,可以精確計(jì)算出薄膜的厚度。
  • 高精度測量:該方法具有高精度和高分辨率,能夠測量納米級(jí)厚度的薄膜。

三、功能特點(diǎn)

  • 高精度測量:能夠測量納米級(jí)厚度的薄膜,測量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。
  • 非接觸式測量:采用光學(xué)測量方法,無需接觸樣品,避免對(duì)樣品造成損傷。
  • 多種測量模式:支持多種測量模式,包括單點(diǎn)測量、多點(diǎn)測量和掃描測量。
  • 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析:儀器內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件,能夠?qū)崟r(shí)顯示測量結(jié)果,并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。
  • 多種測量范圍:適用于不同厚度范圍的薄膜測量,從納米級(jí)到微米級(jí)。
  • 用戶友好界面:配備大屏幕液晶顯示屏,操作界面直觀易用。
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與輸出:可以存儲(chǔ)大量測量數(shù)據(jù),并通過USB接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步分析。
  • 多種語言支持:支持多種語言顯示,包括英語、日語、中文等。

四、技術(shù)規(guī)格

  • 測量范圍:納米級(jí)至微米級(jí)(具體范圍取決于薄膜材料和測量條件)。
  • 測量精度:亞納米級(jí)別。
  • 測量速度:快速測量,適合高通量檢測。
  • 光源:激光光源,波長可根據(jù)測量需求選擇。
  • 測量模式:單點(diǎn)測量、多點(diǎn)測量、掃描測量。
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ):可存儲(chǔ)大量測量數(shù)據(jù)。
  • 數(shù)據(jù)輸出:USB接口,支持?jǐn)?shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。
  • 電源:交流電源適配器。
  • 尺寸:緊湊型設(shè)計(jì),便于實(shí)驗(yàn)室和現(xiàn)場使用。
  • 重量:輕便,便于攜帶。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體行業(yè):用于測量半導(dǎo)體薄膜的厚度,如硅片上的氧化層、金屬層等。
  • 電子行業(yè):用于測量電子元件上的薄膜厚度,如電容、電阻等。
  • 光學(xué)行業(yè):用于測量光學(xué)薄膜的厚度,如反射膜、增透膜等。
  • 材料科學(xué):用于研究新型薄膜材料的厚度和性能。
  • 科研領(lǐng)域:用于實(shí)驗(yàn)室研究和開發(fā)中的薄膜厚度測量。

六、操作步驟

  1. 準(zhǔn)備樣品:將待測樣品放置在測量平臺(tái)上,確保樣品表面平整。
  2. 開機(jī):連接電源并打開儀器,進(jìn)行自檢和初始化。
  3. 設(shè)置參數(shù):根據(jù)樣品的性質(zhì)和測量需求,設(shè)置測量模式、光源波長等參數(shù)。
  4. 開始測量:將激光對(duì)準(zhǔn)樣品表面,按下測量鍵,儀器自動(dòng)進(jìn)行測量。
  5. 讀取結(jié)果:測量完成后,儀器會(huì)顯示薄膜的厚度和相關(guān)數(shù)據(jù)。
  6. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與輸出:將測量結(jié)果存儲(chǔ)到儀器中,或通過USB接口傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步分析。

七、優(yōu)勢

  • 高精度:采用光學(xué)干涉法,測量精度高,重復(fù)性好。
  • 非接觸式測量:無需接觸樣品,避免對(duì)樣品造成損傷。
  • 多功能:支持多種測量模式和數(shù)據(jù)處理功能,滿足不同用戶的需求。
  • 便攜性:體積小、重量輕,便于攜帶和現(xiàn)場使用。
  • 操作簡便:界面友好,操作簡單,易于上手。
  • 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析:內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件,能夠?qū)崟r(shí)顯示測量結(jié)果并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。

八、附件

  • 標(biāo)準(zhǔn)配件:主機(jī)、測量平臺(tái)、電源適配器、USB數(shù)據(jù)線、使用說明書等。
  • 可選配件:專用軟件、校準(zhǔn)片等。

九、維護(hù)與保養(yǎng)

  • 清潔:定期清潔光學(xué)鏡頭和測量平臺(tái),避免灰塵和污漬影響測量結(jié)果。
  • 校準(zhǔn):定期使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片進(jìn)行校準(zhǔn),確保儀器測量準(zhǔn)確。
  • 存儲(chǔ):存放于干燥、清潔的環(huán)境中,避免高溫、潮濕和強(qiáng)磁場。
Sanko-Denshi膜厚計(jì)SWT-NEO以其高精度、非接觸式測量和多功能性,成為薄膜厚度測量的理想工具,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。


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