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pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置

  • 產(chǎn)品型號(hào):112
  • 更新時(shí)間:2024-07-10

簡(jiǎn)要描述:pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112
G8(長(zhǎng)2200mm x 寬2400mm) 液晶玻璃基板制造設(shè)備用開(kāi)合蓋裝置,具有升降、滑動(dòng)、翻轉(zhuǎn)功能。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112

pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112

G8(長(zhǎng)2200mm x 寬2400mm) 液晶玻璃基板制造設(shè)備用開(kāi)合蓋裝置,具有升降、滑動(dòng)、翻轉(zhuǎn)功能。這是液晶檢查設(shè)備的裝載/卸載裝置。存放在卡盒中的液晶基板,通過(guò)直角坐標(biāo)系(X、Y、Z、Θ軸)的機(jī)械手控制,一張一張取出,基板對(duì)齊后,輸送至光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)(缺陷測(cè)量)裝置。檢查后,基板返回盒中。基板尺寸對(duì)應(yīng)G3.5 (620mm x 750mm)。液晶面板用玻璃基板搬運(yùn)夾具。
兼容基板尺寸 G7 (1870mm x 2200mm)。這是在半導(dǎo)體工廠中進(jìn)行工序間搬運(yùn)的中間搬入搬出裝置。將 AGV 和 PGV 提供的 FOUP 盒裝載到每個(gè)過(guò)程和中間儲(chǔ)料器以及從 OHT 站取回的設(shè)備。

(1) 將水分含量控制在極小量(ppb 至 1 位數(shù) ppm)的過(guò)程

 ? TK-100 電容式露點(diǎn)計(jì)(氧化鋁型),可測(cè)量低露點(diǎn) -100° C (

2) 極微量水分 (ppm) 由

 ? TE-660 露點(diǎn)儀(聚合物型)低露點(diǎn)為

-60

 °C 的過(guò)程控制。(鏡面型)露點(diǎn)儀

④ 過(guò)程和無(wú)塵室需要相對(duì)濕度水平控制的

 ? 簡(jiǎn)單的 EE060

⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的過(guò)程

 ? 主要在高溫和高濕度下測(cè)量 EE33 帶防結(jié)露措施的溫濕度計(jì)

氧氣濃度測(cè)量

(1) 需要通過(guò)氫氣置換

 等去除氧氣的工序? 2001LC 原電池式氧氣濃度

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年,坐落于年輕奮進(jìn)的深圳市,是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷(xiāo)售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。聯(lián)合國(guó)際名品牌搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈,采用與 MRO分銷(xiāo)商結(jié)盟的方式,把零散采購(gòu)訂單集中處理,流程簡(jiǎn)化,提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建立采購(gòu)中心,以流的專(zhuān)業(yè)國(guó)際采購(gòu)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問(wèn)、銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各類(lèi)高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過(guò)與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。




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