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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號：ME 系列
更新時(shí)間：2024-07-11簡要描述：photonic-lattice厚度/折射率測量橢偏儀 ME 系列這是一款高速映射橢圓儀，可以測量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它支持各種膜厚分布測量。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
photonic-lattice厚度/折射率測量橢偏儀 ME 系列
photonic-lattice厚度/折射率測量橢偏儀 ME 系列
這是一款高速映射橢圓儀，可以測量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。
從顯微鏡尺寸到大尺寸（約 50 cm），我們備有與測量對象相對應(yīng)的產(chǎn)品系列
這是一款測量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備，它以 500 萬像素的高分辨率高速測量雙折射/相位差的分布。
一種可以在顯微鏡視野中測量雙折射的類型。
附帶的顯微鏡可以從奧林巴斯或尼康中選擇。
PA-micro-S 是沒有顯微鏡的只有測量頭的產(chǎn)品。
這是一款測量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備，它以 500 萬像素的高分辨率高速測量雙折射/相位差的分布。
它是一種可以在線安裝的類型，光源和測量臺可以分開。
這是一款測量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備，它以 500 萬像素的高分辨率高速測量雙折射/相位差的分布。
它是一種可以在線安裝的類型，光源和測量臺可以分開。
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